气体质量流量控制器 - SFC5000系列

产品介绍

SFC5000系列气体质量流量控制器产品描述

SFC5000系列气体质量流量控制器有助于实现宽动态测量范围内极其精确和可重复的控制。气体质量流量控制器的出色性能基于Sensirion创新的CMOSens®技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件和模拟/数字信号处理电路。在芯片上，传感器信号被直接转换成完全校准，带温度补偿的数字信号。该质量流量控制器具有模拟和数字接口。此外，它们实现了新的可选功能，如多气体测量、气体识别和自检能力。SFC5000系列气体质量流量控制器是整个工业和医疗市场各种应用的理想解决方案。

SFC5000系列气体质量流量控制器特性

• 高精度和可重复性

• 优异的长期稳定性和可靠性

• 宽动态范围（量程比1000:1）

• 超快气体流量控制（稳定时间小于50毫秒）

• 多气体、多量程可选和气体识别功能

• 数字和模拟接口

• 灵活的机械接头选项：钣金式安装、VCR和VCO，Swagelok、C-/W-Seal等。

• 校准可追溯至NIST标准

• 源于创新CMOSens® 技术的杰出价值

• 可根据要求提供定制化产品

SFC5000系列气体质量流量控制器应用领域

• 分析仪器（如气相色谱、质谱）

• 医疗设备（如呼吸机、麻醉）

• 工业过程自动化（如涂层、热处理）

• 半导体行业（如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）