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美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 - MF3000系列

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质量流量，时域传感技术
全量程覆盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精确度和优良的重复性
可测量多种气体不需要特别修正
多种输出信号可选
支持多种连接方式，易于安装与使用

产品型号：: MF3000系列

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产品介绍

美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 MF3000系列描述：

MF3000系列气体质量流量计采用旁路设计并使用本公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。

MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF3000测量范围覆盖（O~2）SLPM到（O~1500）SLPM，大工作压力提高到0.8MPa。MF3000提供多种信号输出，通过RS485或IC数字通讯接口可实现远程数据采集与设置，并可选择NPN或PNP开关信号输出。MF3000同时具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 MF3000系列 产品特点：

质量流量，时域传感技术
全量程覆盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精确度和优良的重复性
可测量多种气体不需要特别修正
多种输出信号可选

支持多种连接方式，易于安装与使用

美国Siargo 气体质量流量计 MEMS流量传感芯片 MF3000系列参数：

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