瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空计 热导式传感器 - MTCS2305

产品介绍

瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空计 热导式传感器 MTCS2305 描述：

MTCS2305压力计根据皮拉尼原理采用热导率测量，是专用MEMS装置，为小型TO39封装。该传感器采用镍铂电阻MEMS技术，将一个大型微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。此MEMS结构结合了用于电源和温度分析的简单CMOS标准集成电路，适用于要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蚀气体的尺寸关键真空OEM传感解决方案。

瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空计 热导式传感器 MTCS2305 特性：
传感器有3项可选的封装选项：
仅传感芯片，实现空气中微型热线(MTCS2305-0)
带硅盖的传感芯片 (MTCS2305-20)，在20 um（或10 um）的冷热部分之间创造一个间隙。这种小间隙提高了皮拉尼原
理在100 – 1000 mbar压力下的灵敏度。


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空计 热导式传感器 MTCS2305 特点：
扩展测量范围10-5 ~ 1000 mbar
MEMS 微机械硅传感器，传感器的几何结构与传感器电阻完美匹配
< 0.1 cm3 的超小传感器气体体积
皮拉尼微导线到墙的距离由硅微机械调节，下限为10 µm (MTCS2305-10) 或 20 µm (MTCS2305-20) ，具有优异的传感器重复性
采用具有大集成电阻（如250 Ohms）和小加热质量的MEMS硅传感器，具有超低运行功耗（< 5 mA @ 5V）
超快响应时间< 30 ms ，电子带宽 >100 Hz
由于相似的加热电阻和参考电阻，在微型结构的铂镍薄膜工艺中轻松实现了温度补偿
不受安装位置影响
尺寸小，抗冲击能力强 (>1000 G)
采用金触点，耐腐蚀性气体，如氢气


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空计 热导式传感器 MTCS2305 应用：
泄露检测、推进、半导体制造（例如，溅射室），冻结干燥器、真空肉类包装机、真空镀膜和负载锁。通常，在功率和尺寸受限的恶劣环境下，按照皮拉尼原理进行压力测量 ，例如分析便携式仪器或小型机械泵系统


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空计 热导式传感器 MTCS2305 选型：