美国Siargo FS8000系列微机电气体质量流量传感器 - FS8001/FS8003

Mouse over image to zoom

流量范围：0~500sccm
精度：± (2+0.5FS)%
重复性：± 1.0
输出方式：线性，模拟电压0.5~4.5VD C（可选IC 数字信号输出）
响应时间：10ms
工作温度：0 ~ +55℃、
工作湿度：<95% RH （无结冰、无凝露）

产品型号：: FS8001/FS8003

PDF：

订货数量：

询价加入询价篮

产品介绍

一、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品简介：
FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。

二、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品特点:
传感器灵敏度高，有极小的始动流量
响应速度快
低压损
安装方便

三、FS8000系列微机电气体质量流量传感器技术参数：

项目	FS8001	FS8003	单位
流量范围	(0~500) sccm	(0~6) SLPM
精度	±(2. 0+0. 5FS)		%
重复性	±1. 0		%
零点输出漂移	±30		mV
输出漂移	±0. 12		% / ℃
响应时间	10		ms
工作电源	8~24		VDC
输出方式	线性，模拟电压0.5~4.5VD C（可选IC 数字信号输出）
Max工作压力	0.3		MPa
工作温度	0 ~ +55		℃
储存温度	-20 ~ +65		℃
工作湿度	<95% RH （无结冰、无凝露）
电气接口	SM 05B-SRSS-TB (JST)
机械接口	M5螺孔	Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口)
标准方式	空气（20℃，101.325kPa）