瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 - MTCS2300系列

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不受安装位置影响
尺寸小，抗冲击能力强（>1000 G）
耐腐蚀性气体，如氢气，使用金触点

瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 MTCS2300 描述：

MTCS2300压力计是专用MEMS器件，根据皮拉尼原理进行热导率测量，为小型TO8或TO39封装。

该传感器采用镍铂电阻MEMS技术，将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。

此MEMS结构结合了用于电源和温度分析的简单CMOS标准集成电路，是要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蚀气体的尺寸关键真空OEM传感解决方案的合适之选。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 MTCS2300 特点：

扩展测量范围 10-4 ~ 1000 mbar

传感器几何结构和传感器电阻完美匹配的MEMS微机械硅传感器

< 0.1 cm3的超小传感器气体体积

皮拉尼微导线到墙的距离由硅微机械调节，可降至10 µm 或 20 µm ，具有优异的传感器重复性

采用带250 Ohms大集成电阻和小加热元件的MEMS硅传感器，因此具有超低运行功耗（< 6 mW）

超快响应时间 < 50 ms

由于相似的加热电阻和参考电阻，在微型结构的铂镍薄膜工艺中轻松实现了温度补偿

不受安装位置影响

尺寸小，抗冲击能力强（>1000 G）

耐腐蚀性气体，如氢气，使用金触点

瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 MTCS2300 应用：

泄露检测

推进装置

半导体制造（如溅射室）

冷冻干燥机

真空肉类包装机

真空镀膜

负载锁

通常，基于皮拉尼原理，在功率和尺寸受限的恶劣环境中进行压力测量，例如分便携式析仪器，小型机械泵系统

瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 MTCS2300 参数：

瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 MTCS2300 选型：