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瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2200系列

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硅微机械传感器，尺寸极小 (3.5 x 3.5 mm2) ，适用于微型气体体积 (20 mm3)
短时间常数（膜时间常数 <5 ms)
低功率、高灵敏度以及最小加热功率（< 6 mW)
不受流量影响

产品型号：: MTCS2200系列

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产品介绍

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列描述：

热导式气体传感器采用薄膜沉积和硅微机械加工技术在硅片上制成。该装置可测定二元或三元气体混合物的气体浓度。

该传感器由一个集成加热器组成，该加热器位于绝缘隔热膜上。两个薄膜电阻用于加热和测量膜的温度[Tm]。两个参考电阻集成在膜旁边的硅片上，以补偿环境温度变化。这四个电阻经过钝化，以防止受到气体的影响，并通过金丝键合与TO8或TO5底座进行电气连接。

传感器附在硅支架上，该支架还允许与膜下方进行气体交换。膜上方或下方是由一个在硅中各向异性蚀刻的腔组成的微型结构。由此在膜与较冷部分之间形成的中空部分是气体热导测量部分。测量气体通过侧面开口扩散到加热膜上方的空腔内，进而防止气流扰动。传感器的热传递取决于膜周围气体的热导率。此类传感器通常采用恒流电路来测量气体。气体浓度与温度差异[δT=Tm– Tamb] 直接相关，该差异通过测量电功率变化测得。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列特点：

硅微机械传感器，尺寸极小 (3.5 x 3.5 mm2) ，适用于微型气体体积 (20 mm3)

短时间常数（膜时间常数 <5 ms)

低功率、高灵敏度以及zui小加热功率（< 6 mW)

不受流量影响

薄膜上的集成传感电阻和温度补偿电阻

可靠且一致的灵敏度性能

由于批量制造工艺，传感器规格差异小

线性输出信号与目标气体浓度

长期稳定运行

高机械阻力

无需现场维护

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列应用：

工业：

通过测量二元混合物（Ar，N2中的H2）或准二元混合物（空气中的H2，He或 CO2）的热导率来测定气体浓度

燃烧控制

监测天然气中的CH4 浓度的气体引擎控制

检测氟利昂（

R-11；

R-12、R-21、R-22）、CFC或CF3 CH2 F氟乙烷（R-134或R-404）等制冷剂气体的泄露监测冷却系统

测量空气中的氢气（0-5%或更高浓度）、氦气（0-5000 ppm）或氙气

安全工业过程控制、园艺、食品储存、发酵过程控制

微型真空装置，如微型皮拉尼压力真空计

基于导热系数的空气微型绝对湿度传感器

饮料行业 (CO2 浓度)

家用：

安全、火警或室内空气质量的CO2 安全监测 (0-4%)

检测微波炉中的烹饪点

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列参数：

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列选型：

订购信息
型号: MTCS 220X – Y - Z
X	Y	Z
1:双元混合物 2:CH4 3:CO2 4:H2, He 5:CFC,氟利昂 6:Ar, Ne, N2, O2	1:TO5-4 2:TO8 3:TO5-(6+2)	1:铝金属化和引线键合 2:金金属化和引线键合