微流量传感器 - F1031

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新一代MEMS传感器芯片技术
无漂移，无滞后
精度高，响应速度快，重复性好
低功耗（使用脉冲激发电流）
可准确测量极小流量
经过完全校准和温度补偿
线性或开方特性输出；模拟或数字输出

产品型号：: F1031

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产品介绍

一、微流量传感器F1031描述

F1031 微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。F1031微流量传感器内置有温度传感器，每只都进行专有的温度补偿校准；同时具有线性模拟电压输出，方便使用。
芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征塞贝克效应。加热电阻两侧的等温线,当流体静止时，等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时，等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可直接测出流体质量流量。

二、微流量传感器F1031传感器特点
新一代MEMS传感器芯片技术
无漂移，无滞后
精度高，响应速度快，重复性好
低功耗（使用脉冲激发电流）
可准确测量极小流量
经过完全校准和温度补偿
线性或开方特性输出；模拟或数字输出

三、微流量传感器F1031主要应用
医用设备：呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等
暖通空调：变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等
工业过程控制：燃烧器控制
空气和环境保护
便携式仪器

四、微流量传感器F1031技术指标

产品型号	F1031微流量传感器
量程①	20、35、50、100、150、200SLM②
	最小	典型值	最大	单位
满量程输出	4.90	5.00	5.10	V
零流量输出	0.96	1.00	1.04	V
输出阻抗	-	200	-	Ω
工作电压	7.0	10.0	14.0	V
工作电流	15	25	30	mA
精度	-	±1.5	±2.5	%F.S
重复性	-	±0.3	±0.5	%F.S
年漂移③	-	±0.1	±0.5	%F.S
工作压力④	-	-	100	kPa
反应时间	5	10	15	ms
工作温度⑤	-25	-	65	℃
储存温度	-40	-	90	℃