瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 - MTCS2300系列
产品介绍
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 MTCS2300 描述:
MTCS2300压力计是专用MEMS器件,根据皮拉尼原理进行热导率测量,为小型TO8或TO39封装。
该传感器采用镍铂电阻MEMS技术, 将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻,集成在微型封装中。
此MEMS结构结合了用于电源和温度分析的简单CMOS标准集成电路,是要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蚀气体的尺寸关键真空OEM传感解决方案的合适之选。
通常,基于皮拉尼原理,在功率和尺寸受限的恶劣环境中进行压力测量,例如分便携式析仪器,小型机械泵系统
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 MTCS2300 参数:
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 MTCS2300 选型:
订购信息 |
||
MTCS230X |
X = 1 : MTCS2301 = Al触点 |
X = 2 : MTCS2302 = Au触点 |
型号 |
说明 |
|
MTCS230X-0 |
只有一个传感芯片,无硅盖,TO8封装 |
|
MTCS230X-10 |
带10 µm气隙盖的传感芯片,TO8封装 |
|
MTCS230X-20 |
带20 µm气隙盖的传感芯片,TO8封装 |
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