瑞士Sensirion 液体流量传感器 - SLQ-QT500

产品介绍

一、新型SLQ-QT500液体流量传感器产品描述

      新型SLQ-QT500液体流量传感器可测水基液体以及碳氢化合基液体，测量流量为120ml/min。这对于半导体行业中喷涂系统的合成以及其它行业中配量和流量应用的广泛组合是非常理想的。

      由于采用充分验证的热式微传感器科技，SLQ-QT500开辟了在灵敏度，稳定性和速度新的高度。触液材质为PFA配件及石英玻璃管。整个流路笔直且传感器中没有障碍物或移动部件。SLQ-QT500几乎适合任何粘度的液体以及在其对石英玻璃管无磨损的含小颗粒的液体。

      基于智能RS485数字接口的传感器可长距离通讯，具有较大的总线容量。出色的敏感度和测量速度让监督或控制快速配量操作成为可能。可通过自动配量检测获得流体瞬时流量以及总配量输出。在校准H2O和异丙醇时可使用该传感器。

二、新型SLQ-QT500液体流量传感器特性

• 流量高达120毫升/分钟（碳氢化合物和水基液体）

• 快速响应时间低至30毫秒

• 高低粘度液体用

• 具有小颗粒的液体用

• RS485数字接口

• 直流路径，无移动部件

• 保证纯度

• 高敏感度低至zui低流量

• 超强耐化学性，惰性材料

• 触液材质：只有PFA和石英玻璃

• 最大工作压力10 bar

三、新型SLQ-QT500液体流量传感器应用

• 高端半导体流程控制

• 工业自动化

• 快速配量操作