瑞士IST 热式质量流量传感器 - MFS02

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对腐蚀性气体和蒸气具有高耐化学性
不同的灵敏度与电路拓扑结构可供选择
支持用户订制
可测量流向

瑞士IST 热式质量流量传感器MFS02 适用于快速响应的气体流量及方向测量

瑞士IST 热式质量流量传感器MFS02 特点：

对于大流量与快速响应的应用，CTA模式下有极高分辨率

适用于通过桥式电路测量极低流量与泄漏检测应用

CTA模式下极高的测量动态范围(10‘000‘000 : 1)，非旁路模式

对腐蚀性气体和蒸气具有高耐化学性

不同的灵敏度与电路拓扑结构可供选择

支持用户订制

可测量流向

瑞士IST 热式质量流量传感器MFS02 参数：

参数
尺寸 (L / L2 x W x H / H2 in mm)
芯片	5.0 x 3.4 x 0.5
PCB标准	38.2 x 10.8 x 1.0 / 2.0
PCB裸露	34.2 / 37.4 x 10.8 x 1.0 / 2.0
测量范围	0 m/s to 1.5 m/s (全桥模式) 0 ml/min to 100 ml/min (全桥模式) 0 m/s to 150 m/s (CTA模式) 0 l/min to 10 l/min (CTA模式)
zui小测量范围	0 ml/min to 1 ml/min
响应灵敏度	0.0003 m/s (20 microliter/min)
测量精度	<真实值2%(取决于电路与校准)
响应时间 t63	< 10 ms
温度范围（芯片）	-40 °C to +160 °C
温度范围（气体）	-40 °C to +80 °C (最多比芯片温度低 +80 °C)
温度灵敏度	< 0.1 % / K (取决于电路设计)
连接方式	焊盘连接