美国Siargo MEMS气体质量流量控制器 - MFC2000系列
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产品介绍
美国Siargo MEMS气体质量流量控制器 MFC2000系列描述：
本产品说明书提供了MFC2000系列气体质量流量控制器的基本信息，可用于非腐蚀性气体流量控制，涵盖质量流量50mLn/min~ 200Ln/min，可提供0~5V或4~20mA模拟信号控制，或RS485Modbus数字信号控制。本产品说明书包含性能指标、机械尺寸、安装及保修、客户服务及订货等信息。
MFC2000质量流量控制器的控制范围可达100:1，可工作在为0.1~0.8MPa, -10~50C，机械接口NPT 1/8*~NPT1/2"，并可定制其他机械接口。MFC2000质量流量控制器采用本公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了-些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。
备注: mLn/min和L n/min表示在标准状态( 0C，101 .325kPa)下的标准流量。
美国Siargo MEMS气体质量流量控制器 MFC2000系列特点：
质量流量，时域传感技术
量程比100: 1
压力范围0. 1~0.8MPa
可测量 多种气体不需要特别修正
机械接口可定制
各种标准通讯选项可供选择
美国Siargo MEMS气体质量流量控制器 MFC2000系列选型：
美国Siargo MEMS气体质量流量控制器 MFC2000系列参数尺寸：
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