瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2200系列
产品介绍
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列 描述:
热导式气体传感器采用薄膜沉积和硅微机械加工技术在硅片上制成。该装置可测定二元或三元气体混合物的气体浓度。
传感器附在硅支架上,该支架还允许与膜下方进行气体交换。膜上方或下方是由一个在硅中各向异性蚀刻的腔组成的微型结构。由此在膜与较冷部分之间形成的中空部分是气体热导测量部分。测量气体通过侧面开口扩散到加热膜上方的空腔内,进而防止气流扰动。传感器的热传递取决于膜周围气体的热导率。此类传感器通常采用恒流电路来测量气体。气体浓度与温度差异[δT=Tm– Tamb] 直接相关,该差异通过测量电功率变化测得。
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列 特点:
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列 应用:
检测微波炉中的烹饪点
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列 参数:
瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2200系列 选型:
订购信息 |
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型号: MTCS 220X – Y - Z |
||
X |
Y |
Z |
1:双元混合物 2:CH4 3:CO2 4:H2, He 5:CFC,氟利昂 6:Ar, Ne, N2, O2 |
1:TO5-4 2:TO8 3:TO5-(6+2) |
1:铝金属化和引线键合 2:金金属化和引线键合 |
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